新闻汇总 2007年(原古河斯凯)

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荣获轻金属学会第42届小山田纪念奖

2007年11月12日

古河斯凯此次荣获社团法人轻金属学会授予的第42届小山田纪念奖。获奖项目为“用于半导体生产装置及薄型显示器生产装置的基板支架的生产方法的开发”。在11月10日于千叶大学西千叶校园召开的社团法人轻金属学会第113届秋季大会的表彰仪式上,我公司从社团法人轻金属学会及财团法人轻金属奖学会荣获表彰,并在获奖感言中介绍了项目概要。

小山田纪念奖是为纪念财团法人轻金属奖学会已故小山田裕吉前理事长的功绩而设立的奖项,以我国在轻金属生产及产品制造方面的优秀技术为对象,对发明、构思或研究该技术的有功之臣予以表彰。

本次获奖的技术为我公司铸造锻造事业部自2001年1月开始工业化的热锻造连接技术,在生产液晶TFT显示器生产装置的基板支架时使用。该原理为在两张铝合金板界面形成的空隙中埋入加热装置电路时,使用大型锻造冲压机进行一次性加压。此举的特点是在铝合金板大面积连接在一起的同时,加热装置与铝合金板也粘接在一起。

传统的半导体及液晶TFT显示器的生产装置使用在铝合金板中内置加热装置的加热板(基板支架)作为处理基板玻璃的材料。加热装置的内置采用焊接或者铸造(封闭型铸造)方式,但是随着基板支架的大型化,产生了内置加热装置的操作时间延长及铝板与加热装置的热膨胀差等问题,难以达到基板支架应具有的高真空密封性、平面均匀性、热均匀性等高质量要求。我公司开发的热锻造连接基板支架可解决上述基板支架的大型化问题,自第三代产品(尺寸:600×700mm)起予以使用。

2004年10月开始投入使用的大型15,000吨级锻造冲压机装置拥有尺寸为4,000×3,000mm的大型工作台,自超越2,000mm角的第六代迄今,可生产最大为8.5代(2,200×2,500mm)的大型基板支架。如今,我公司在第六代以后的基板支架的世界占有率一枝独秀。

我公司的锻造业务在宇宙航天、铁路车辆、船舶等大型零部件以及半导体生产装置用的真空槽等领域展开。本次获奖的锻造连接技术亦可应用于薄膜太阳能电池板,锻造业务的内容范围有望扩大。此外,我公司已取得与本技术有关的5项国内专利和10项海外专利。