真空機器チャンバーウォール用鍛造製品

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一体成形による高真空度が求められる製品に

真空機器チャンバーウォール用鍛造製品の写真

液晶/半導体製造装置用の大型チャンバーのウォール材は、圧延材を溶接して製造するのが一般的で、製造後にリークテスト等の検査が必要となっています。鍛造品を一体成形する製造法により、圧延材を溶接する場合の付加的費用の発生がありません。

特長

  • 1辺2.5メートル超の大型チャンバーが製造可能です。
  • 鍛造一体成形品であり、溶接部がないことで強度・真空度に優れます。
  • 自由鍛造品なので金型等の治工具不要で、少量多品種対応が可能です(1個から製造可能)。

納入形状

鍛造状態での納入

鍛造状態での納入の写真

外郭長 2,760×3,155mm
内郭長 2,320×2,720mm
高さ 435mm
製品重量 2,775kg

粗加工品での納入

粗加工品での納入の写真

外郭長 2,210×2,210mm
内郭長 2,030×2,030mm
高さ 665mm
製品重量 1,260kg

製造設備

15,000トン鍛造プレス

15,000トン鍛造プレスの写真

鍛造素材ハンドリング用マニプレータ

鍛造素材ハンドリング用マニプレータの写真

大型マシニング設備

大型マシニング設備の写真